BT-2003 安装在 PVD/CVD 製程设备, 用于及时监督 Robot, Stepping Motor, Servo Motor, Cylinder 的运动, 当设备有异常前都会有异常的振动现象, BT-2003 能自动指示设备异常的Part, 使工程师很方便地寻找问题源头, 及预防无预警停机. 使晶圆片製程的Failure Rate 降至最低。

  • BT-2003 安装在 PVD/CVD 製程设备
 
  • BT-2003 安装在 PVD/CVD 製程设备(Real-Time)
 
  • Good Robot Vibration Level
 
  • Bad Robot Vibration Level
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